X線顕微鏡

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-279569
公開番号（公開出願番号）：特開平5-119200
出願日： 1991年10月25日
公開日（公表日）： 1993年05月18日
要約：

【要約】【目的】 X線顕微鏡において、生物試料を確実に撮影することができるようにする。また、光反応性生物および光生成、光解離物質に反応する試料の動的振る舞いを撮影できるようにする。【構成】 X線顕微鏡に、照明用光源と、この光源から出射した照明光をX線によって撮像可能な試料面に照射するための照明用光学系とを設けた。さらに、前記試料面での照明光の照射領域を、試料面上で走査あるいは移動させる移動手段を設けた。

請求項（抜粋）：

X線光源、X線光源から出射したX線を集光して試料を照明するX線集光用光学系、試料を透過したX線を結像させるX線結像光学系、X線結像光学系の結像位置に配置されたX線撮像装置、X線光源からX線撮像装置までのX線光路を真空にするための鏡筒用真空容器、および該真空容器内を真空に排気するための排気系からなるX線顕微鏡において、赤外、可視または紫外領域の連続光あるいはパルス光を出射する照明用光源と、該照明用光源から出射した照明光を、X線によって撮像可能な試料面に照射する照明用光学系と、前記試料面での照明光の照射領域を、試料面上で走査あるいは移動させる移動手段と、を備えたことを特徴とするX線顕微鏡。

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