特許
J-GLOBAL ID:200903011714818187

光記録媒体製造用スタンパーの電鋳装置および電鋳方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 若林 忠
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-144814
公開番号(公開出願番号):特開平7-006413
出願日: 1993年06月16日
公開日(公表日): 1995年01月10日
要約:
【要約】【構成】 電鋳装置に、(1)陽極と陰極との間隙に、原盤の有効部より直径の小さい円形開口部と、その開口部周辺にその開口部より直径の小さい小穴を有するバッフル板を設けて、あるいは(2)開口部直径が可変のバッフル板を設け、その開口部の直径を変えながら、光記録媒体製造用スタンパーの電鋳を行なう。【効果】 電鋳時に周端部への電気力線集中が防止されて均一な膜厚の電鋳膜を得ることができ、電鋳後の裏面研磨工程に要する時間を短縮することができ、従って生産性を向上させることができる。
請求項(抜粋):
少なくとも、電鋳液を満たす電鋳槽、該電鋳槽内にあり原盤を設置する陰極、該陰極に対向して設置された陽極、および電鋳液を供給するノズルを有する光記録媒体製造用スタンパーの電鋳装置において、陽極と陰極との間隙に、原盤の有効部より直径の小さい円形開口部と、該開口部周辺に該開口部より直径の小さい小穴を有するバッフル板が設けられていることを特徴とする光記録媒体製造用スタンパーの電鋳装置。
IPC (3件):
G11B 7/26 511 ,  B29C 33/38 ,  C25D 1/00 321

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