回転式塗布装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-030258
公開番号（公開出願番号）：特開平11-314063
出願日： 1993年05月27日
公開日（公表日）： 1999年11月16日
要約：

【要約】【課題】ケース内の排気を有効に行うことができ、霧状の塗布液が基板に付着することを有効に防止できて、汚染のない塗布処理を効率的に行える回転式塗布装置を提供する。【解決手段】上方側支持プレート16aの上側の空間と下側の空間とは、縦部材16dで閉じられたところを除き、上方側支持プレート16aの側方を通じて連通している。筒状カバー15と廃液回収ケース5の内側でかつ固定支持部材16の下側の、回転台2が設けられている空間と、固定支持部材16の上側空間すなわち廃液回収ケース5の外側の空間との間には、固定支持部材16によって矢印で示すような気流の通路が形成される。これにより、塗布処理に際し、固定支持部材16で筒状カバー15と廃液回収ケース5を閉じた状態であっても、矢印で示すような気流を形成でき、筒状カバー15や廃液回収ケース5内に塗布液が霧状になった塗布液ミストを排気口14から円滑に排出できる。

請求項（抜粋）：

基板を回転させることにより当該基板の表面に塗布液を塗布する回転式塗布装置において、基板を回転可能に支持する基板支持部材と、前記基板支持部材と結合して塗布処理空間を形成する塗布処理空間形成部材と、上部に開口を有するとともに内部を排気するための排気口が形成され、基板支持部材の周囲を囲むケースと、前記ケースに着脱可能に設けられ、前記ケースへの装着時に前記ケースの前記開口を閉じる閉じ部材とを備え、前記閉じ部材には、前記ケースの前記開口を当該閉じ部材により閉じた状態のケースの内と外を連通する気流通路が形成されていることを特徴とする回転式塗布装置。

IPC (4件)：

B05C 11/08 , G03F 7/16 502 , H01L 21/027 , H01L 21/304 643

FI (4件)：

B05C 11/08 , G03F 7/16 502 , H01L 21/304 643 A , H01L 21/30 564 C

引用特許：

審査官引用 (1件)

回転式塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-151567 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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