特許
J-GLOBAL ID:200903011728299085
光導波路を用いた化学物質計測装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
小川 勝男
, 田中 恭助
, 佐々木 孝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-148870
公開番号(公開出願番号):特開2004-354068
出願日: 2003年05月27日
公開日(公表日): 2004年12月16日
要約:
【課題】化学物質検出センサの安定性の向上、振動に対する耐力の向上、小型化、感度の向上を図る。【解決手段】光の波長を可変できる光源1からの光を分岐して伝播する長さの異なる光導波路19、20と、上記2つの光導波路の一方に設けられたリカンドと上記リカンドを含み上記2つの光導波路の領域に試料を流す箱体14と、上記2つの光導波路の出力を合波させる合分波器12と、合分波器12から得られた干渉光の出力から被計測試料に含まれる化学物質を検出する手段を持つ化学物質検出センサであって、動作点の調整は被検出物を含まない試料(基準試料)を箱体14に流したとき、合分波器12で分けられ2つの検出器7、8の出力が等しくなるよう光源1の波長を制御することによって行う。【選択図】 図4
請求項(抜粋):
光源からの光を分岐して伝送する2つの光導波路と、上記2つの光導波路の一方に設けられたリカンドと上記リカンドを含み上記2つの光導波路の領域に試料を流す反応室と、上記2つの光導波路の出力を合波させる合波器と、上記合波器から得られた干渉光の出力から上記試料に含まれる化学物質を検出する化学物質センサあって、
上記光源の光の波長を可変する波長可変手段を有し、上記2つの光導波路の光路長が4分の1波長以上異なっていることを特徴とする化学物質検出センサ。
IPC (3件):
G01N21/39
, G01N21/01
, G01N21/45
FI (3件):
G01N21/39
, G01N21/01 C
, G01N21/45 A
Fターム (24件):
2G059AA01
, 2G059AA05
, 2G059BB04
, 2G059BB12
, 2G059CC16
, 2G059DD12
, 2G059DD16
, 2G059EE09
, 2G059FF08
, 2G059GG01
, 2G059GG09
, 2G059GG10
, 2G059HH01
, 2G059HH06
, 2G059JJ02
, 2G059JJ05
, 2G059JJ17
, 2G059JJ18
, 2G059JJ22
, 2G059KK01
, 2G059KK03
, 2G059MM01
, 2G059PP04
, 2G059PP06
引用特許:
審査官引用 (4件)
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特開平1-313736
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特開昭62-254038
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特開昭64-065437
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