セラミックス薄板の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：篠部正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-104129
公開番号（公開出願番号）：特開平10-291865
出願日： 1997年04月22日
公開日（公表日）： 1998年11月04日
要約：

【要約】【課題】原料費、工数等の増加を抑え、反りやうねりの無い平坦なセラミックス薄板を容易に得られる方法を提供する。【解決手段】平均粒径2μmのAlN粉末Aからドクターブレード法により作製したグリーンシート成形体1と、平均粒径1μmのAlN粉末Bからドクターブレード法により作製したスペーサー成形体3とが焼成後にほぼ同じ厚さになるように、グリーンシート成形体1より厚く、収縮率がグリーンシート成形体1のそれよりも大きいスペーサー成形体3を介して保持された上下の台板4、2間にグリーンシート成形体1を置き、窒素雰囲気中で1850°C×2時間、焼成する。

請求項（抜粋）：

セラミックス薄板の焼成前のグリーンシート成形体を、グリーンシート成形体より厚く、収縮率がグリーンシート成形体のそれよりも大きいスペーサー成形体を介して保持された上下の台板間に置き、両台板間で焼成し、グリーンシート成形体とスペーサー成形体とが焼成後にほぼ同じ厚さになるようにすることを特徴とするセラミックス薄板の製造方法。

IPC (4件)：

C04B 35/64 , B28B 1/24 , B28B 1/26 , B28B 1/30 101

FI (4件)：

C04B 35/64 G , B28B 1/24 , B28B 1/26 , B28B 1/30 101

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