特許
J-GLOBAL ID：200903011740277283
蒸着装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
笹島 富二雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-260384
公開番号（公開出願番号）：特開平6-111321
出願日： 1992年09月29日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：
【要約】【目的】磁性金属16の蒸発方向を規制する。【構成】ルツボ17とフィルム1の蒸着表面に近接した遮蔽機構19の支持枠19aとの間に遮蔽筒31を介装し、遮蔽筒31の側面に、電子ビーム銃18からルツボ17に入れた磁性金属16に電子線18aを照射出来るように孔31aを設ける。
請求項（抜粋）：
蒸着材の蒸着源と、該蒸着源の上方にて被蒸着材を案内するキャンと、を備えた蒸着装置において、前記蒸着源とキャンとの間に、蒸発方向に沿って筒状に延びる遮蔽筒を備えたことを特徴とする蒸着装置。
IPC (4件)：
G11B 5/85
, C23C 14/24
, C23C 14/30
, H01F 41/20
