特許

J-GLOBAL ID：200903011751056971

研磨装置

発明者： 菅谷 功
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 四宮 通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-260201
公開番号（公開出願番号）：特開2002-075935
出願日： 2000年08月30日
公開日（公表日）： 2002年03月15日
要約：

【要約】【課題】 研磨対象物の外周部を把持する把持部を有する搬送装置を用いて、保持部に対する研磨対象物のローディング及びアンローディングを行う。しかも、研磨対象物をより均一に研磨し、研磨体の摩耗を低減する。【解決手段】 ウエハ2の研磨時には、リング状のガイド部材5のガイド面5aが、保持部3に保持されたウエハ2の研磨面とほぼ面一となる位置に、ガイド部材5がエアシリンダ15により上昇される。このとき、ガイド面5aは、研磨体7のはみ出し部分を支持する。ウエハ2の保持部3に対するローディング時及びアンローディング時には、ガイド部材5は、エアシリンダ15により下方へ移動して、ウエハ搬送装置の把持部と干渉しない位置に退避する。

請求項（抜粋）：

研磨体と、研磨対象物を保持する保持部とを備え、前記研磨体と前記研磨対象物との間に研磨剤を介在させた状態で、前記研磨体と前記研磨対象物との間に荷重を加え、かつ相対移動させることにより、前記研磨対象物を研磨する研磨装置において、前記研磨対象物の研磨時に前記研磨対象物からその周囲へはみ出す前記研磨体のはみ出し部分を支持するガイド部材を備え、前記ガイド部材の少なくとも一部が、前記研磨対象物の前記保持部に対するローディング時及びアンローディング時に、前記研磨対象物を搬送する搬送装置における前記研磨対象物の外周部を把持する把持部と干渉しない位置に、退避するように、前記保持部に対して相対的に移動可能に構成されたことを特徴とする研磨装置。

IPC (2件)：

H01L 21/304 622 ,  B24B 37/04

FI (2件)：

H01L 21/304 622 G ,  B24B 37/04 G

Fターム (9件)：

3C058AA07 ,  3C058AA12 ,  3C058AB01 ,  3C058AB03 ,  3C058AB04 ,  3C058AC04 ,  3C058CB01 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17