特許
J-GLOBAL ID:200903011761946517

固体撮像装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 船橋 国則
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-105902
公開番号(公開出願番号):特開平5-283661
出願日: 1992年03月31日
公開日(公表日): 1993年10月29日
要約:
【要約】【目的】 本発明は、固体撮像装置の集光特性を高めることにより、固体撮像装置の感度の向上を図る。【構成】 半導体基板11に設けた複数の受光部12を絶縁膜13で覆ったものであって、各受光部12に入射光71を集光させる反射面14と当該反射面14で側周を囲まれた透光性の媒質(例えば透光性の膜16)とで形成した光伝送路17を、各受光部12上の絶縁膜13に設けたものである。あるいは、半導体基板11に設けた複数の受光部12を絶縁膜13で覆うとともに、各受光部12上における当該絶縁膜13の上面に集光レンズ(図示せず)を設けたオンチップレンズ構造のものであって、上記光伝送路17を、集光レンズと受光部12との間の絶縁膜13に設けたものである。
請求項(抜粋):
半導体基板に設けた複数の受光部を絶縁膜で覆った固体撮像装置において、前記各受光部に入射光を集光させる反射面と当該反射面で側周を囲まれた透光性の媒質とで形成した光伝送路を、前記各受光部上の前記絶縁膜に設けたことを特徴とする固体撮像装置。
IPC (3件):
H01L 27/14 ,  G02B 3/00 ,  H04N 5/335
引用特許:
審査官引用 (7件)
  • 特開昭60-047472
  • 特開昭61-154283
  • 特開平3-276677
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