特許
J-GLOBAL ID:200903011762283236
光走査装置及びその走査位置判別方法、並びに光学装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
中野 雅房
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-301095
公開番号(公開出願番号):特開平7-128602
出願日: 1993年11月05日
公開日(公表日): 1995年05月19日
要約:
【要約】【構成】 振動子1のミラー部6の裏面に対向させて発光装置8を配置し、発光装置8から出射され、ミラー部6の裏面で反射された走査位置判別用の光ビームMBを受光できる位置に2次元位置検出素子のような受光装置9を配置し、当該光ビームMBを受光装置9上で走査させる。ミラー部6の回動角によって受光素子9の受光位置(重心位置)が変化するので、受光装置9の受光位置からミラー部6の回動角を知ることができ、したがってミラー部6で反射された走査用の光ビームSBの走査位置を判別することができる。【効果】 駆動源の駆動周波数と振動子の共振周波数が不一致の場合や温度変化等によって共振周波数が変化した場合などにも、正確に走査用の光ビームの走査位置を検出できる。
請求項(抜粋):
ミラー部、振動入力部及び弾性変形部を有する振動子と、前記振動子を弾性共振振動させる駆動源とを備え、駆動源から振動入力部に振動を印加することによって振動子を共振振動させ、走査用の光ビームをミラー部で反射させることにより走査させるようにした光走査装置において、走査位置判別用の光ビームを出射する発光装置と、当該発光装置から出射された走査位置判別用の光ビームを受光して走査用の光ビームの走査位置を判別するための受光装置とを有することを特徴とする光走査装置。
IPC (5件):
G02B 26/10
, G02B 26/10 101
, B41J 2/44
, B41J 2/45
, B41J 2/455
FI (2件):
B41J 3/00 D
, B41J 3/21 L
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