特許

J-GLOBAL ID：200903011770800789

表面検査装置

発明者： 内藤 哲也
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-302109
公開番号（公開出願番号）：特開平8-159979
出願日： 1994年12月06日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：

【要約】【目的】 ステージに被検査物を載置し、装置を駆動させるだけで自動的に全反射による表面検査が行える表面検査装置を提供する。【構成】 被検査物の表面に全反射を起こすように光を照射する表面検査用光源と、前記被検査物の表面で反射した反射光を検出する表面検査用検出器と、を有する表面検査装置であって、前記被検査物の屈折率を検出する屈折率測定手段と、前記屈折率測定手段で得られた屈折率から全反射角を求めるとともに前記全反射角に基づいて前記表面検査用光源および表面検査用検出器の位置を制御する処理・制御装置とを有する構造となっている。前記屈折率測定手段は被検査物の表面に光を照射する屈折率測定用光源と、前記被検査物の表面で反射した光を検出する屈折率測定用検出器とからなっている。

請求項（抜粋）：

被検査物の表面に全反射を起こすように光を照射する表面検査用光源と、前記被検査物の表面で反射した反射光を検出する表面検査用検出器と、を有する表面検査装置であって、前記被検査物の屈折率を検出する屈折率測定手段と、前記屈折率測定手段で得られた屈折率から全反射角を求めるとともに前記全反射角に基づいて前記表面検査用光源および表面検査用検出器の位置を制御する処理・制御装置とを有することを特徴とする表面検査装置。

IPC (4件)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30 ,  G01R 31/28 ,  H01L 21/66