特許

J-GLOBAL ID：200903011776313979

ステージ装置および露光装置ならびにディバイス製造方法

発明者： 中村 元
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-030447
公開番号（公開出願番号）：特開平11-214482
出願日： 1998年01月28日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：

【要約】【課題】 ウエハステージ上のセンサ等を定盤上の電源部等に電気接続するケーブル等を省略する。【解決手段】 XYステージであるウエハステージE1 は、リニアモータ14,15によって定盤10上を移動する。ウエハステージE1 が定盤端部のウエハ受け渡し位置へ移動したときに、ステージ側電磁コア23と定盤側電磁コア33が対向し、両者の間で磁気による電力や電気信号の受け渡しを行なう磁気回路が形成される。

請求項（抜粋）：

固定台の案内手段に沿って移動自在である移動ステージと、該移動ステージ上の回路部品と前記固定台の回路部とを電気接続するための磁気回路を前記移動ステージと前記固定台の間に形成する磁気結合手段を有するステージ装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

H01L 21/68 K ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 515 G