特許
J-GLOBAL ID：200903011776955237
ウエハ符号読取用治具
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小杉 佳男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-216942
公開番号（公開出願番号）：特開平6-069325
出願日： 1992年08月14日
公開日（公表日）： 1994年03月11日
要約：
【要約】【目的】ウエハに直接触れることなくウエハカセット内に収納されたウエハの符号を同時に視認することのできるウエハ符号読取用治具を提供する。【構成】ウエハカセットを搭載する基台22の中央部に、傾斜した上面24aを有するウエハ押上部材24を固定し、また、このウエハ押上部材24を挟んで両側にサイド部材26、28を固定する。ウエハカセットを基台22に搭載する際に、各ウエハの底部をウエハ押上部材24の上面24aに当接させて保持させることにより、ウエハの重なりは略垂直方向に順にずれるため、符号が一方向から同時に視認される。
請求項（抜粋）：
ウエハカセットを載置する基台上面に、該ウエハカセットを位置決めする部材を備えると共に、該ウエハカセットの中心位置に収納する、高さが一方向に漸増する板状のウエハ押上部材をウエハ列に直交して突設したことを特徴とするウエハ符号読取用治具。
IPC (2件)：
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