特許

J-GLOBAL ID：200903011780640941

インクジェットプリントヘッド及びその製造方法

発明者： 西脇 学
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-322656
公開番号（公開出願番号）：特開平9-156098
出願日： 1995年12月12日
公開日（公表日）： 1997年06月17日
要約：

【要約】【課題】 簡易な配線構造で配線領域の容量付加と信頼性低下の問題を解決し、高品質、高性能のたわみ形インクジェットプリントヘッドを提供する。【解決手段】 弾性膜と下部駆動電極膜10と圧電性膜11と上部駆動電極膜12からなる圧力発生膜から構成される変位領域と前記圧電性膜と上部駆動電極の一端を延引して配線される配線領域とからなり、変位領域と配線領域の圧電性膜の組成が違うことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

列状に隔壁を介して配列されたインク加圧室を有する加圧室基板、該加圧室基板の片面を覆蓋し前記隔壁により懸架かつ固定され、加圧室の一壁面をなすがごとく配置された、弾性膜と下部駆動電極膜と第1の組成からなる圧電性膜と上部駆動電極膜からなる圧力発生膜、各々の前記加圧室に連通するインク吐出ノズルとインク供給孔、から構成される変位領域と、前記加圧室基板上に前記圧電性膜と前記上部駆動電極の一端を延引して配線された配線領域とからなり、前記配線領域は前記下部駆動電極膜と第2の組成の圧電性膜と上部駆動電極膜により構成されることを特徴とするインクジェットプリントヘッド。

IPC (7件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  C04B 35/49 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/24

FI (6件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  C04B 35/49 A ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/18 101 D ,  H01L 41/22 A