特許
J-GLOBAL ID：200903011782812979
ドライフィルムレジスト
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-208325
公開番号（公開出願番号）：特開平6-130657
出願日： 1991年08月20日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：
【要約】【構成】 ベースフィルム2の一面上にレジスト層3が形成され、さらにその上面にカバーフィルム4が積層されてなるドライフィルムレジストの、ベースフィルム2の他面上に、テトラシアノキノジメタン錯体からなる帯電防止層1を形成する。【効果】 静電気の作用によってベースフィルムの表面にごみやほこりなどが引きつけられ、付着するのを防止して、異物付着によるパターン不整を防止し、品質の安定化を図ることができる。低湿度に調湿された環境下においても優れた帯電効果を得ることができる。
請求項（抜粋）：
ベースフィルムの一面上に、レジスト層が形成され、さらにその上面にカバーフィルムが積層されたドライフィルムレジストであって、ベースフィルムの他面上にテトラシアノキノジメタン錯体からなる帯電防止層が形成されたことを特徴とするドライフィルムレジスト。
IPC (4件)：
G03F 7/004 512
, C09K 3/16 105
, G03F 7/09
, H05F 1/02
