特許

J-GLOBAL ID：200903011794364491

酸化亜鉛系透明電極

発明者： 東 正信
出願人/特許権者： 株式会社トクヤマ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-311130
公開番号（公開出願番号）：特開2001-135149
出願日： 1999年11月01日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
要約：

【要約】【課題】 耐プラズマ性が高く廉価であるという特長がある酸化亜鉛系材料を使用し、且つ酸化亜鉛単独からなる透明電極に比べて、比抵抗の低減と同時に耐熱酸化性等の他の特性が改良された透明電極を提供する。【解決手段】 アルミニウムやガリウム等の周期律表第III族から選ばれる少なくとも2種類の元素を含有する酸化亜鉛層からなる透明電極であって、該少なくとも2種類の元素のうち、任意の特定の2種をそれぞれ添加元素1及び添加元素2としたときに、該酸化亜鉛層の一方の面又はその近傍における添加元素1の濃度が添加元素2の濃度より高く、且つ該酸化亜鉛層の反対側の面又はその近傍における添加元素2の濃度が添加元素1の濃度よりも高いことを特徴とする酸化亜鉛系透明電極。

請求項（抜粋）：

周期律表第III族から選ばれる少なくとも2種類の元素を含有する酸化亜鉛層からなる酸化亜鉛系透明電極であって、該少なくとも2種類の元素のうち、任意の特定の2種をそれぞれ添加元素1及び添加元素2としたときに、該酸化亜鉛層の一方の面又はその近傍における添加元素1の濃度が添加元素2の濃度より高く、且つ該酸化亜鉛層の前記面又はその近傍と反対側の面又はその近傍における添加元素2の濃度が添加元素1の濃度よりも高いことを特徴とする酸化亜鉛系透明電極。

IPC (3件)：

H01B 5/14 ,  C23C 14/08 ,  C23C 16/40

FI (3件)：

H01B 5/14 A ,  C23C 14/08 C ,  C23C 16/40

Fターム (12件)：

4K029AA09 ,  4K029BA49 ,  4K029BD00 ,  4K029BD01 ,  4K030BA47 ,  4K030CA06 ,  4K030LA15 ,  4K030LA16 ,  5G307FA01 ,  5G307FA02 ,  5G307FB01 ,  5G307FC10