微分干渉顕微鏡及び該顕微鏡を使った欠陥検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-217987
公開番号（公開出願番号）：特開平9-061370
出願日： 1995年08月25日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：

【要約】【課題】微分干渉顕微鏡及び該顕微鏡を用いた欠陥検査装置を得ることを目的とする。【解決手段】微分干渉顕微鏡の検光子を例えば偏光ビームスプリッタとして、ビームスプリッタの透過光と反射光を検出し、各々に対応する検出信号を得るそして2つの信号の相対強度を調整する。調整後の2つの信号の差に基づいて物体の像を観察する。さらにシャー量を可変とする機構を設けた。

請求項（抜粋）：

物体を観察する顕微鏡において、光源からの第1の光線を前記物体に向ける光学系と;前記第1の光線を第1の偏光状態と第2の偏光状態の2つの直線偏光であって、所定の角度または間隔をなす光線に分離する分離光学系と;前記2つの直線偏光の間の位相差を調整する位相差調整手段と;前記所定の角度または間隔を調整する分離調整手段と;前記2つの直線偏光の光線を集光し、前記物体内の所定領域内で2つの被照射点を形成する集光レンズと;前記物体から発生する少なくとも前記第1と第2の偏光状態の光線を屈折する対物レンズと;前記対物レンズを通過した前記第1と第2の偏光状態の光線を第3の偏光状態の光に合成する合成光学系と;前記第3の偏光状態の光から第4の偏光状態の光線と第5の偏光状態の光線とを選択する偏光選択手段系と;前記第4の偏光状態の光線を光電変換し、第1信号を出力する第1光電変換素子と;前記第5の偏光状態の光線を光電変換し、第2信号を出力する第2光電変換素子と;前記第1信号と前記第2信号の信号強度の比を調節する信号比調整手段と;前記調整手段によって所定の強度比となった前記第1、第2信号の差である差信号を出力する差信号出力回路とを有することを特徴とする顕微鏡。

IPC (3件)：

G01N 21/88 , G02B 21/00 , G02B 23/00

FI (3件)：

G01N 21/88 E , G02B 21/00 , G02B 23/00

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