特許
J-GLOBAL ID:200903011807987973
LC複合素子
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
布施 行夫 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-046429
公開番号(公開出願番号):特開平7-235641
出願日: 1994年02月21日
公開日(公表日): 1995年09月05日
要約:
【要約】【目的】 小型化が可能であり、しかもLSI等の一部として形成することができ、製造が容易なLC複合素子を提供すること。【構成】 LC複合素子100は、n-Si基板10表面に形成された渦巻き形状のインダクタ導体18と、このインダクタ導体18の一部に沿うように形成された2つのpn接合層と、これら各pn接合層のn領域14,16表面に形成されたキャパシタ用電極24,26とを含んで構成される。インダクタ導体18の一部がpn接合層を形成する一方のp領域12の電極としても使用されており、この電極部分において分布定数的にpn接合層が形成されている。
請求項(抜粋):
半導体基板上に形成されたインダクタ導体と、前記インダクタ導体の一部に沿った位置に形成されており、前記インダクタ導体の一部がp領域あるいはn領域のいずれか一方に接続されているpn接合層と、前記pn接合層を形成するp領域あるいはn領域のいずれか他方に接続されたキャパシタ用電極と、を備え、前記半導体基板上にインダクタと前記pn接合層によって構成されるキャパシタとを重ねて形成することを特徴とするLC複合素子。
IPC (4件):
H01L 27/04
, H01L 21/822
, H01F 27/00
, H03H 7/075
FI (2件):
H01L 27/04 L
, H01F 15/00 D
引用特許:
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