特許
J-GLOBAL ID：200903011811981394
照明光学系
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
柳田 征史
, 佐久間 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-204345
公開番号（公開出願番号）：特開2005-049491
出願日： 2003年07月31日
公開日（公表日）： 2005年02月24日
要約：
【課題】ロッドインテグレータを用いて空間光変調素子に照明光を照射する照明光学系において、照明光の照射領域形状を空間光変調素子の略矩形状の光照射面の形状と略一致させ、ロッドインテグレータの研磨作業を容易化し、またその隅部にカケが生じることを防止する。【解決手段】ロッドインテグレータ72の射出面72aの輪郭形状を、該輪郭形状の重心Gを通る4本の対角線H1〜H4を有し、それらの対角線には互いに長さの異なるものが含まれている、全頂角が90°以上の八角形状とする。そして、最も長い第1の対角線H1と、それに対して最も大きい角度で交差する第2の対角線H4との比と、空間光変調素子における照明光の照射領域に投影された該第1および第2の対角線との比とを比べると、前者より後者の方がより1に近くなるように、空間光変調素子とロッドインテグレータ72との相対位置を設定する。【選択図】 図17
請求項（抜粋）：
略矩形状の光照射面に照射された照明光の射出方向を画像情報に応じて制御することにより、画像情報を表す画像光を射出する空間光変調素子に対して前記照明光を照射する照明光学系であって、照明光の中心軸が前記光照射面に所定の角度で斜めに入射するように配置されてなる照明光学系において、
前記空間光変調素子に照射する照明光を発する光源と、
この光源と前記空間光変調素子との間に配置され、該空間光変調素子に照射される前記照明光の強度分布を一様化するロッドインテグレータとを備え、
前記ロッドインテグレータの射出面の輪郭形状が、該輪郭形状の重心を通る4本の対角線を有し、それらの対角線には互いに長さの異なるものが含まれている、全ての頂角が90°以上の八角形状とされ、
前記4本の対角線のうち最も長い第1の対角線と、該第1の対角線に対して最も大きい角度で交差する第2の対角線との比と、前記空間光変調素子における照明光の照射領域に投影された該第1および第2の対角線との比とを比べると、前者より後者の方がより1に近くなるように、該空間光変調素子と前記ロッドインテグレータとの相対位置が設定されていることを特徴とする照明光学系。
IPC (3件)：
G03F7/20
, G02B27/18
, G03B21/00
G03F7/20 505
, G02B27/18 Z
, G03B21/00 F
2H097AA03
, 2H097CA17
, 2K103AA07
, 2K103AA14
, 2K103AA16
, 2K103BB05
, 2K103BC26
, 2K103BC42
, 2K103CA17
, 2K103CA76
