表面弾性波デバイスセンサ

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出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：浅川哲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-231655
公開番号（公開出願番号）：特開2006-047229
出願日： 2004年08月06日
公開日（公表日）： 2006年02月16日
要約：

【課題】圧電型基板上に発生させる表面弾性波(SAW)を多チャンネル化・多機能化することにより、様々な環境情報や生体医療因子に起因した物理化学的パラメータ(温度,湿度,荷重,気圧,ガス成分,磁気,材料損傷,生体成分微量分析等)による環境変化因子をSAW伝播特性変化によって同時に、且つ、高精度で検出することができる表面弾性波デバイスセンサを提供することである。【解決手段】圧電型基板2に接合させたIDT3からなる素子に高周波電流または高周波電圧を印加し、前記圧電型基板2の表面近傍に表面弾性波(SAW)5を発生させ、このSAW5の伝播特性によって環境変化因子を検出する表面弾性波(SAW)デバイスセンサ1において、前記圧電型基板2上に複数の機能性薄膜6からなる表面弾性波伝播経路4を形成して多チャネル化することで、環境変化因子を複数同時に検出させるようにした。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

圧電型基板に接合させた櫛型電極からなる素子に高周波電流または高周波電圧を印加し、前記圧電型基板の表面近傍に表面弾性波を発生させ、この表面弾性波の伝播特性によって、環境変化因子を検出することを特徴とする表面弾性波デバイスセンサ。

IPC (11件)：

G01N 29/00 , G01L 1/00 , G01N 3/06 , G01N 3/32 , G01N 11/00 , G01N 17/00 , G01N 27/72 , G01N 29/24 , G01N 33/483 , G01R 33/02 , G01T 1/16

FI (11件)：

G01N29/18 , G01L1/00 L , G01N3/06 , G01N3/32 Z , G01N11/00 A , G01N17/00 , G01N27/72 , G01N29/24 , G01N33/483 B , G01R33/02 H , G01T1/16 B

Fターム (55件)：

2G017AD69 , 2G045CB21 , 2G045DB00 , 2G045FA31 , 2G045JA07 , 2G047AA01 , 2G047AA05 , 2G047BC02 , 2G047BC03 , 2G047BC07 , 2G047BC11 , 2G047BC15 , 2G047BC16 , 2G047BC17 , 2G047BC19 , 2G047CB03 , 2G047EA05 , 2G047EA08 , 2G047GB21 , 2G047GB32 , 2G047GB34 , 2G047GB35 , 2G047GB38 , 2G047GF15 , 2G050AA02 , 2G050BA01 , 2G050BA04 , 2G050BA09 , 2G050BA10 , 2G050BA12 , 2G050BA20 , 2G050DA02 , 2G050EA01 , 2G050EA02 , 2G050EA03 , 2G050EA04 , 2G050EB02 , 2G053AB09 , 2G053BB15 , 2G053CA07 , 2G053DA01 , 2G053DB05 , 2G061AA02 , 2G061AB05 , 2G061BA15 , 2G061CB20 , 2G088FF01 , 2G088GG25 , 2G088JJ03 , 2G088JJ09 , 2G088JJ31 , 2G088JJ33 , 2G088KK27 , 2G088KK29 , 2G088LL11

引用特許：

審査官引用 (4件)

特許第3146610号
特許第3146610号
特開昭60-185419

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引用文献：

審査官引用 (1件)

ワイヤレス・無給電センサによる構造健全性評価

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