特許
J-GLOBAL ID：200903011817199825
AlまたはAl合金製真空チャンバの製造方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
植木 久一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-210006
公開番号（公開出願番号）：特開平8-074091
出願日： 1994年09月02日
公開日（公表日）： 1996年03月19日
要約：
【要約】【目的】 AlまたはAl合金製真空チャンバを製造するにあたって、陽極酸化処理後の加熱処理を簡便に行うことのできる方法を提供する。【構成】 AlまたはAl合金製真空チャンバ構成材料に陽極酸化処理を施した後水洗して陽極酸化皮膜を形成するAlまたはAl合金製真空チャンバの製造方法であって、水洗の後沸点が100°C未満である液体を用いて上記陽極酸化皮膜を洗浄し、次いで加熱乾燥する。尚、沸点が100°C未満である液体としては、水との間に最低共沸混合物を生じる液体を用いる方法が推奨される。
請求項（抜粋）：
AlまたはAl合金製真空チャンバ構成材料に陽極酸化処理を施した後水洗して陽極酸化皮膜を形成するAlまたはAl合金製真空チャンバの製造方法であって、水洗の後沸点が100°C未満である液体を用いて上記陽極酸化皮膜を洗浄し、次いで加熱乾燥することを特徴とするAlまたはAl合金製真空チャンバの製造方法。
IPC (4件)：
C25D 11/18 313
, C25D 11/18
, H01L 21/205
, H01L 21/3065
