特許

J-GLOBAL ID：200903011819971860

ネガ型感光性組成物

発明者： 落合 為一 ,  高橋 徳明 ,  高橋 七郎
出願人/特許権者： 三菱化成株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-294623
公開番号（公開出願番号）：特開平5-181277
出願日： 1991年11月11日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：

【要約】【構成】 アルカリ可溶性樹脂、光酸発生剤及びメトキシメチルメラミン系架橋剤を含有するネガ型感光性組成物において、メトキシメチルメラミン系架橋剤中、ヘキサメトキシメチルメラミン以外のメラミン系モノマー含量が20重量%以下であるネガ型感光性組成物。【効果】 本願のネガ型感光性組成物は、高解像度で、かつ保存後の感度劣化及び未露光部の現像性の劣化が小さく、特に半導体製造用フォトレジストとして極めて有用である。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂、光酸発生剤及びメトキシメチルメラミン系架橋剤を含有するネガ型感光性組成物において、下記式(I)で示される化合物の含有量が該メトキシメチルメラミン系架橋剤中20重量%以下である事を特徴とするネガ型感光性組成物。【化1】〔式中、A1 〜A6 はそれぞれ独立に水素原子、-CH2 OH又は-CH2 OCH3 を示すが、そのうち1つ以上は水素原子又は-CH2 OHを示す。〕

IPC (3件)：

G03F 7/038 505 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭59-113435
  
• 特開平3-107162
  
• 特開平3-075652