特許
J-GLOBAL ID：200903011820897878
超小型電子マシンデバイスおよびデータ記憶モジュール
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 政喜 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-100068
公開番号（公開出願番号）：特開2003-340798
出願日： 2003年04月03日
公開日（公表日）： 2003年12月02日
要約：
【要約】【課題】 可動マスの相対的なサイズが大きいMEMSデバイスを提供する。【解決手段】 超小型電子マシンデバイス110は、可動マス112と、可動マス112を支持するフレーム114と、可動マス112とフレーム114との間で延びているフレクシュア10とを備える。フレクシュア10は、可動マス112をフレーム114に対して動かす一体型アクチュエータ18を有する。
請求項（抜粋）：
可動マス(112)と、前記可動マス(112)を支持するフレーム(114)と、前記可動マス(112)と前記フレーム(114)との間で延びている第1のフレクシュア(10)であって、該可動マス(112)を該フレーム(114)に対して動かす一体型アクチュエータ(18)を備える第1のフレクシュア(10)とを備えることを特徴とする超小型電子マシンデバイス。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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