特許

J-GLOBAL ID：200903011821489544

窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法

発明者： 内山 一郎 ,  寺尾 公一
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社
代理人 (1件)： 穂上 照忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-224072
公開番号（公開出願番号）：特開平6-072769
出願日： 1992年08月24日
公開日（公表日）： 1994年03月15日
要約：

【要約】【構成】窒化アルミニウムを90wt%以上含有し、粒界相が 50vol%以上のCaYAl3O7化合物を含み、さらにWまたはW化合物をWO3として窒化アルミニウムに対し0.01〜5wt%含む黒色の窒化アルミニウム焼結体。この焼結体は、窒化アルミニウム粉末に、焼結助剤として、Ca、Y、Alの化合物、および、WまたはW化合物を、それらの合計量が 0.5〜10wt%(対窒化アルミニウム)となり、かつ、下記 (1)〜(3) 式(いずれもモル比)、および0.01≦WO3≦5(対窒化アルミニウム、wt%)を満足するように添加し、造粒、加圧成形した後、焼成することにより製造する。 20≦CaO ≦60・・ (1)、5≦Y2O3≦30・・ (2)、35≦Al2O3 ≦70・・ (3)【効果】黒色で、高い熱伝導性を有し、酸、アルカリに対する耐食性ならびに遮光性に優れ、しかも、1700°C以下の低温で焼結することができ、半導体用パッケージ材料、絶縁基板などの素材として好適である。

請求項（抜粋）：

窒化アルミニウムを90wt%以上含有し、粒界相が 50vol%以上のCaYAl3O7化合物を含み、さらにタングステンまたはタングステン化合物をWO3に換算して窒化アルミニウムに対し0.01〜5wt%含む耐食性に優れた黒色の窒化アルミニウム焼結体。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-183469
  
• 特開平4-182357
  
• 特開平4-130064