ペースト塗布機

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：武顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-193380
公開番号（公開出願番号）：特開2003-001170
出願日： 2001年06月26日
公開日（公表日）： 2003年01月07日
要約：

【要約】【課題】高速塗布速度などによって装置の固有振動数の振動が生じても、基板の振動にノズルが追従してこれら間の間隔が一定となる制御を可能にする。【解決手段】ペースト収納筒13の先端部に設けられたノズル(図示せず)のZ軸方向の駆動手段として、Z軸サーボモータ12によって駆動される粗動アクチュエータとしてのZ軸移動テーブル11と、リニアアクチュエータ(図示せず)によって駆動される高速Z軸移動テーブル26とを設ける。これらは距離計16の検出出力に応じて駆動されるが、Z軸移動テーブル11はノズルをZ軸方向に大きくゆっくり移動させ、高速Z軸移動テーブル26は微少に高速で移動させる。初期の位置決め時には、粗動アクチュエータで位置制御を行ない、ペースト塗布中は微動アクチュエータで高速位置制御を行なうことにより、高精度のペースト塗布を実現する。

請求項（抜粋）：

ペースト収納筒内に充填したペーストを吐出する吐出口を有するノズルと、該吐出口に対向するようにして基板を載置するテ-ブルと、該ノズルの上下方向の位置を変化させるためのノズル位置駆動手段と、該テーブルの位置を変化させる駆動手段と、該ノズルからペーストを吐出するための空圧手段を備えたペースト塗布機において、該ノズル位置駆動手段として、低速でかつ大きな距離範囲を移動する粗動アクチュエータと、高速で微少距離移動する微動アクチュエータとを有することを特徴とするペースト塗布機。

IPC (2件)：

B05C 5/00 101 , B05C 11/10

FI (2件)：

B05C 5/00 101 , B05C 11/10

Fターム (11件)：

4F041AA06 , 4F041AB01 , 4F041BA05 , 4F041BA22 , 4F041BA23 , 4F042AA07 , 4F042AB00 , 4F042BA08 , 4F042CB03 , 4F042CB24 , 4F042ED05

引用特許：

出願人引用 (2件)

液体塗布方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-257496 出願人：武蔵エンジニアリング株式会社
特開昭60-207239

審査官引用 (2件)

液体塗布方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-257496 出願人：武蔵エンジニアリング株式会社
特開昭60-207239

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