特許

J-GLOBAL ID：200903011832248743

エネルギー線加熱装置

発明者： 久保寺 正男 ,  河西 繁
出願人/特許権者： テル・バリアン株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-205908
公開番号（公開出願番号）：特開平6-163419
出願日： 1992年07月09日
公開日（公表日）： 1994年06月10日
要約：

【要約】【目的】エネルギー線透過窓の温度上昇による加熱防止するエネルギー線加熱装置を提供することを目的とする。【構成】真空容器1の中に載置された半導体ウエハ2を石英ガラスの窓4を介して照射する加熱ランプ5の照射エネルギーを、エネルギー線測定手段により測定する。石英ガラスの窓4の成膜や石英ガラス自体の照射エネルギーの透過率変化を知ることにより、石英ガラスの窓4の加熱され過ぎや破損を防止する。

請求項（抜粋）：

エネルギー線透過窓を介して照射するエネルギー線発生源と、前記エネルギー線の照射エネルギーを測定する測定手段と、この測定手段の測定値と予め定められた標準値とを比較する比較手段と、この比較手段の比較値に基づいて前記透過窓を介して照射するエネルギー線を制御する制御手段とからなることを特徴とするエネルギー線加熱装置。

IPC (2件)：

H01L 21/205 ,  H01L 21/203

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-356917
  
• 特開平4-272180
  
• 特公平3-010711