特許
J-GLOBAL ID:200903011832702061

メサ型圧電振動片

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 村上 友一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-104281
公開番号(公開出願番号):特開2008-263387
出願日: 2007年04月11日
公開日(公表日): 2008年10月30日
要約:
【課題】CI値の低減、不要モードの結合抑制に対して特に有意な効果を奏するためのメサ掘り量を有する圧電振動片を提供する。【解決手段】上記課題を解決するための圧電振動片は、厚み滑り振動を主振動とする圧電基板12の板面に、周辺部16よりも厚み寸法の大きい振動部14を形成したメサ型の圧電振動片10であって、段差部の堀量yは、圧電基板12の長辺の寸法をx、振動部14における圧電基板12の厚み寸法をtとした時に、板厚tを基準として、 の関係を満足するように定められることを特徴とする。【選択図】図1
請求項(抜粋):
厚み滑り振動を主振動とする圧電基板の板面に、周辺部よりも厚み寸法の大きい振動部を形成したメサ型の圧電振動片であって、 段差部の堀量yは、圧電基板の長辺の寸法をx、振動部における圧電基板の厚み寸法をtとした時に、板厚tを基準として、
IPC (4件):
H03H 9/19 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22
FI (5件):
H03H9/19 E ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/08 L ,  H01L41/22 Z
Fターム (6件):
5J108AA01 ,  5J108BB02 ,  5J108CC04 ,  5J108CC08 ,  5J108CC12 ,  5J108DD02
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • メサ型水晶振動子
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2005-162086   出願人:エプソントヨコム株式会社
審査官引用 (2件)

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