特許

J-GLOBAL ID：200903011833411737

感光性樹脂組成物およびその製造方法

発明者： 北條 泰広
出願人/特許権者： 京セラケミカル株式会社
代理人 (1件)： 諸田 英二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-039384
公開番号（公開出願番号）：特開2003-241371
出願日： 2002年02月18日
公開日（公表日）： 2003年08月27日
要約：

【要約】【課題】 アルカリ水溶液にて現像が可能で、シャープなネガ型パターン形成能を有するとともに、イミド化の際の熱膨張率を低下させたポリイミド前駆体を含む感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 (A)次の一般式をもつポリイミド前躯体、(但し、式中、R1 、R2 は、芳香族系有機基、R3 、R4 は、芳香族系有機基、R5 、R6 は、エチレン性不飽和結合を有する有機基、R7 、R8 は、αβ不飽和結合を有する有機基)(B)上記ポリイミド前躯体製造用の脱水縮合剤、(C)活性光線に対する感光剤および(D)溶剤からなることを特徴とする感光性樹脂組成物とその製造方法である。

請求項（抜粋）：

(A)次の一般式で示されるポリイミド前躯体、【化1】(但し、式中、R1 、R2 は、4価の芳香族基、複数の芳香族環が単結合された4価の有機基、又は複数の芳香族環が-O-、-CO-、-SO2 -または-CH2 -で結合された4価の有機基であり、R3 、R4 は、2価の芳香族基、複数の芳香族環が単結合された2価の有機基、又は複数の芳香族環が-O-、-CO-、-SO2 -または-CH2 -で結合された2価の芳香族基であり、R5 、R6 は、1以上のエチレン性不飽和結合を有する1価の有機基であり、R7 、R8は、αβ不飽和結合を有する有機基であり、そしてm、nは1以上の整数である)(B)上記ポリイミド前躯体を製造するにあたり用いる脱水縮合剤、(C)活性光線に対する感度を向上させるために用いる感光剤および(D)溶剤からなることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/027 514 ,  C08G 73/12 ,  C08K 5/00 ,  C08L 79/08 ,  G03F 7/38 501 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

G03F 7/027 514 ,  C08G 73/12 ,  C08K 5/00 ,  C08L 79/08 A ,  G03F 7/38 501 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (106件)：

2H025AA01 ,  2H025AA10 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC69 ,  2H025BC85 ,  2H025BJ10 ,  2H025CA00 ,  2H025CC03 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  2H096AA25 ,  2H096BA06 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096LA30 ,  4J002CM041 ,  4J002ED028 ,  4J002EE037 ,  4J002EE038 ,  4J002EH038 ,  4J002EH158 ,  4J002EL068 ,  4J002EN117 ,  4J002EP018 ,  4J002EQ037 ,  4J002ES017 ,  4J002EU028 ,  4J002EV117 ,  4J002EW126 ,  4J002FD156 ,  4J002FD157 ,  4J002GP03 ,  4J043PA04 ,  4J043PA08 ,  4J043PA19 ,  4J043PB02 ,  4J043PC085 ,  4J043QB31 ,  4J043RA35 ,  4J043SA06 ,  4J043SA42 ,  4J043SA43 ,  4J043SA44 ,  4J043SA72 ,  4J043SB01 ,  4J043TA12 ,  4J043TA14 ,  4J043TA21 ,  4J043TA22 ,  4J043TA72 ,  4J043TB03 ,  4J043UA012 ,  4J043UA022 ,  4J043UA032 ,  4J043UA041 ,  4J043UA042 ,  4J043UA052 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA221 ,  4J043UA251 ,  4J043UA261 ,  4J043UA262 ,  4J043UA361 ,  4J043UA672 ,  4J043UB011 ,  4J043UB021 ,  4J043UB051 ,  4J043UB061 ,  4J043UB062 ,  4J043UB121 ,  4J043UB122 ,  4J043UB151 ,  4J043UB152 ,  4J043UB241 ,  4J043UB281 ,  4J043UB301 ,  4J043UB302 ,  4J043UB311 ,  4J043UB401 ,  4J043UB402 ,  4J043VA011 ,  4J043VA012 ,  4J043VA021 ,  4J043VA022 ,  4J043VA031 ,  4J043VA041 ,  4J043VA051 ,  4J043VA061 ,  4J043VA062 ,  4J043VA081 ,  4J043VA092 ,  4J043XA16 ,  4J043XA19 ,  4J043XB07 ,  4J043XB19 ,  4J043YA07 ,  4J043ZA12 ,  4J043ZA35 ,  4J043ZB22