特許
J-GLOBAL ID：200903011838813540
ゲートバルブ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 正次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-163735
公開番号（公開出願番号）：特開平11-280923
出願日： 1998年06月11日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 半導体製造装置等に用いる発塵が少なく、構成が簡単で動作が確実なゲートバルブを提供する。【解決手段】弁箱13に移動可能に架設され軸受8に支承された傾動軸7に軸支されていると共に、ベローズ15によって弁箱に気密に連結され、弁箱内に伸びた先端が弁箱の開口部14開閉用の弁体12に連結され、弁箱外に伸びた先端に掛止部16を有する第一の駆動軸4と、駆動体1によって駆動され、第一の駆動軸4のに一端が固定されている弾性部材5によって第一の駆動軸4に弁箱に近い方の先端側の側面が摺動可能に圧接される第二の駆動軸2とで構成され、第二の駆動軸2の傾斜面が第一の駆動軸4の側面上に設けられている接点6上を摺動する時に、第一の駆動軸4がその傾動軸7を中心として回転運動し、その弁箱内に伸びた一端に連結されている弁体12が弁箱13の開口部14に離接することを特徴とするゲートバルブ。
請求項（抜粋）：
弁箱の内外に伸びる第一の駆動軸であって、弁箱に対して接近する方向及び離れる方向に移動可能に架設され、弁箱外側に備えられた停止手段によって、弁箱に対して所定間隔にまで接近した時点で移動を停止させられる軸受に支承された傾動軸に軸支されていると共に、ベローズによって前記弁箱に気密に連結され、弁箱内に伸びた一端が弁箱の開口部開閉用の弁体に連結され、弁箱外に伸びた他端に掛止部を有する第一の駆動軸と、一端に接続された駆動体によって駆動される第二の駆動軸であって、前記弁箱の外側に伸びる第一の駆動軸の掛止部を有する他端近傍に一端が固定されている弾性部材によって前記第一の駆動軸の一側面にその他端側の一側面が摺動可能に圧接される第二の駆動軸とで構成され、第一の駆動軸の一側面に摺動可能に圧接される第二の駆動軸の他端側の前記一側面は、前記第一の駆動軸の他端の掛止部に係止される突部を前記他端近傍に有し、当該突部から第二の駆動軸の他端に向けてテーパー状に傾斜する傾斜面に形成されており、第二の駆動軸の他端側の前記一側面が当該傾斜面によって前記第一の駆動軸の一側面上に設けられている接点上を摺動する時に、第一の駆動軸がその傾動軸を中心として回転運動し、その弁箱内に伸びた一端に連結されている前記弁体が弁箱の開口部に離接することを特徴とするゲートバルブ。
FI (2件)：
F16K 3/18 C
, F16K 3/18 B
