特許

J-GLOBAL ID：200903011839257462

電磁石を用いた有機電界発光素子製作用蒸着装置及びこれを用いた蒸着方法

発明者： ▲べー▼ 勍 彬 ,  呉 圭 雲 ,  崔 上 和
出願人/特許権者： エイエヌエス インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 伊東 忠彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-201815
公開番号（公開出願番号）：特開2003-187973
出願日： 2002年07月10日
公開日（公表日）： 2003年07月04日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、有機電界発光表示素子(OELD)を製造するのに使われる蒸着装置及びこれを用いた真空蒸着方法を提供する。【解決手段】 電磁石と永久磁石を同時に備えるシャドーマスク安着テーブルを利用することによって、整列時にもガラス基板とシャドーマスクが平行に配置出来るようにし、シャドーマスク安着テーブルに3軸位置移動手段を適用することによって、正確な整列が可能で、整列後には永久磁石を含むシャドーマスクホルダーユニットを利用してガラス基板とマスクを密着させた後、シャドーマスク安着テーブルを作業位置の外に移動させた後、同じチャンバー内で蒸着工程を行う。

請求項（抜粋）：

真空チャンバー;と、真空チャンバー上部に配置され上下に移動してガラス基板を支持し、整列されたシャドーマスクをガラス基板上に密着させるための永久磁石を備えるシャドーマスクホルダーユニット;と、シャドーマスクを搭載するためにシャドーマスクホルダーユニット下部に配置され、上部にあるガラス基板と搭載されたガラス基板とを整列するために外部に連結された制御部によって制御される3軸位置移動手段と、1つ以上の永久磁石及び電磁石を含むシャドーマスク安着テーブル;と、上記ガラス基板とシャドーマスクの整列状態を確認するための光学整列確認手段;と、真空チャンバー内で上記シャドーマスク安着テーブルを左右に移動させるための線形ガイド手段;と、真空チャンバー外部に配置され上記3軸位置移動手段、線形ガイド手段、及び電磁石に印加される電流の極性と大きさを制御するための制御部とを含むことを特徴とする有機電界発光素子製作用蒸着装置。

IPC (5件)：

H05B 33/10 ,  C23C 14/12 ,  C23C 14/24 ,  H01L 33/00 ,  H05B 33/14

FI (5件)：

H05B 33/10 ,  C23C 14/12 ,  C23C 14/24 G ,  H01L 33/00 A ,  H05B 33/14 A

Fターム (14件)：

3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029BA62 ,  4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029DB06 ,  4K029HA04 ,  5F041AA42 ,  5F041CA45 ,  5F041CA67 ,  5F041CA77 ,  5F041CA98