圧電/電歪膜型素子

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田喜樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-241653
公開番号（公開出願番号）：特開平7-202284
出願日： 1994年10月05日
公開日（公表日）： 1995年08月04日
要約：

【要約】【目的】キャビティとは反対方向への変位、力等を安定して得ることができるとともに、圧電/電歪作動部の形成位置がずれた場合でも発生する変位及びキャビティ内の増加する体積が殆ど変化しない安定した素子を実現すること。【構成】セラミック基板5に形成されたキャビティ5b上の薄肉部5a外表面上に、非圧電/電歪作動部8を設け、その非圧電/電歪作動部8の周囲の所定範囲に圧電/電歪作動部2,3を形成して成る圧電/電歪膜型素子1。

請求項（抜粋）：

セラミック基板に形成されたキャビティ上の薄肉部外表面上に、非圧電/電歪作動部を設け、その非圧電/電歪作動部の周囲の所定範囲に圧電/電歪作動部を形成して成る圧電/電歪膜型素子。

IPC (5件)：

H01L 41/08 , B06B 1/06 , B41J 2/045 , B41J 2/055 , H01L 29/84

FI (2件)：

H01L 41/08 Z , B41J 3/04 103 A

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開昭63-142227
特開昭63-179753
特開昭63-292032

審査官引用 (3件)

特開昭63-142227
特開昭63-179753
特開昭63-292032

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