特許

J-GLOBAL ID：200903011853717590

ウエハ搬送装置およびウエハ搬送方法

発明者： 歌津 貴繁 ,  十川 政雄 ,  庄 靖史 ,  井内 敬彰 ,  庄司 啓太 ,  赤井 博之 ,  西村 恒幸
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社 ,  菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 宮田 金雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-003204
公開番号（公開出願番号）：特開平11-204612
出願日： 1998年01月09日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：

【要約】【課題】 振動によってウエハカセットからウエハが突出し、落下によりウエハの割れが発生するのを防止する。【解決手段】 昇降可能なカセットステージ上に載置され複数のウエハ17が搬入、搬出される複数の溝を有するウエハカセット16と、ウエハカセット16から突出したウエハの位置ずれを検出して信号を出す検出手段21と、検出手段21からの信号で待機位置から駆動され突出したウエハ17の端面を押圧してウエハカセット16の正規の位置に戻すウエハ位置補正手段26を備える。

請求項（抜粋）：

昇降可能なカセットステージ上に載置され複数のウエハが搬入、搬出される複数の溝を有するウエハカセットと、上記ウエハカセットから突出した上記ウエハの位置ずれを検出して信号を出す検出手段と、上記検出手段からの信号で待機位置から駆動され上記突出したウエハの端面を押圧して上記ウエハカセットの正規の位置に戻すウエハ位置補正手段を備えたことを特徴とするウエハ搬送装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/07

FI (3件)：

H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 F ,  B65G 49/07 L