特許

J-GLOBAL ID：200903011857229700

縦型基板熱処理装置用基板ボートの支持構造

発明者： 村岡 祐介
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-056885
公開番号（公開出願番号）：特開平5-218186
出願日： 1992年02月06日
公開日（公表日）： 1993年08月27日
要約：

【要約】【目的】 基板ボートを支持部材に載置支持した状態で、地震や駆動系のトラブル発生などに起因して基板ボートが不測に転倒することを防止する。【構成】 対向する取付プレート10にわたって複数本の支柱8を設け、その支柱8それぞれに長手方向に所定間隔を隔てて、基板の外周縁を内嵌支持する溝を形成して基板ボートを構成し、下方の取付プレート10に穴15を形成し、一方、基板ボートを載置支持する断熱支持部材の最上部の断熱板12に、穴15に嵌入する転倒防止ピン17を設け、その転倒防止ピン17と穴15の内周壁との当接により基板ボートの転倒を阻止する。

請求項（抜粋）：

対向する取付プレートにわたって複数本の支柱を設け、その支柱それぞれに長手方向に所定間隔を隔てて、基板の外周縁を内嵌支持する溝を形成した基板ボートを支持部材に支持する縦型基板熱処理装置用基板ボートの支持構造であって、下方の取付プレートまたは前記支持部材に対して、一方に凹部を形成するとともに、他方に、前記凹部に嵌入してその内周壁との当接により前記基板ボートの転倒を阻止する突起部材を設けたことを特徴とする縦型基板熱処理装置用基板ボートの支持構造。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/22 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/324