配向膜の配向処理方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-060021
公開番号（公開出願番号）：特開平9-230351
出願日： 1996年02月21日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：

【要約】【課題】配向膜を従来よりも低温度かつ短時間で硬化させることができ、しかもパーティクルの発生を抑えつつ液晶ディスプレイの視野角を広げることができる配向処理方法を提供する。【解決手段】この配向処理方法は、ガラス基板上に配向膜を塗布して配向膜付基板を形成する第1の工程41と、この配向膜付基板上の未硬化の配向膜に対して、電子線照射および紫外線照射の少なくとも一方を行って当該配向膜を硬化させる第2の工程42と、この工程後の配向膜に対して、?@ラビングに加えて、?Aレーザー照射、イオンビーム照射およびプラズマ照射の内の少なくとも一つを行って配向処理を施す第3の工程43とを備えている。

請求項（抜粋）：

基板上に設けられた未硬化の配向膜に対して、電子線照射および紫外線照射の少なくとも一方を行って当該配向膜を硬化させ、次いでこの硬化後の配向膜に対して、ラビングに加えて、レーザー照射、イオンビーム照射およびプラズマ照射の内の少なくとも一つを行って配向処理を施すことを特徴とする配向膜の配向処理方法。

IPC (2件)：

G02F 1/1337 505 , G02F 1/1337 500

FI (2件)：

G02F 1/1337 505 , G02F 1/1337 500

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