基板搬送容器およびその使用方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡邉勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-370639
公開番号（公開出願番号）：特開2002-176097
出願日： 2000年12月05日
公開日（公表日）： 2002年06月21日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】フィルタおよびファンを備えた基板搬送容器の洗浄を容易に行うことができるようにするとともに、フィルタの交換を容易に行えるようにした基板搬送容器を提供する。また、基板搬送容器の洗浄時期、またはフィルタ交換時期を容易に管理できるようにした基板搬送容器の使用方法を提供する。【解決手段】基板を内部に収容すると共に基板搬出入用の開口部を持った容器本体1と、開口部を開閉可能なドア2とで構成される基板搬送容器において、基板搬送容器は、容器内に気流を形成するファン7と、気流より汚染物質を除去するフィルタ5,6とを一体化したブロックを備え、ブロックを容器に着脱自在に固定するようにした。

請求項（抜粋）：

基板を内部に収容すると共に基板搬出入用の開口部を持った容器本体と、前記開口部を開閉可能なドアとで構成される基板搬送容器において、前記基板搬送容器は、前記容器内に気流を形成するファンと、前記気流より汚染物質を除去するフィルタとを一体化したブロックを備え、該ブロックを前記容器に着脱自在に固定するようにしたことを特徴とする基板搬送容器。

IPC (4件)：

H01L 21/68 , B65D 85/86 , B65G 1/00 537 , G11B 5/84

FI (4件)：

H01L 21/68 T , B65G 1/00 537 Z , G11B 5/84 Z , B65D 85/38 R

Fターム (40件)：

3E096AA06 , 3E096BA16 , 3E096BB04 , 3E096CA05 , 3E096CA08 , 3E096CB03 , 3E096DA01 , 3E096DA26 , 3E096DC02 , 3E096FA01 , 3E096FA03 , 3E096GA03 , 3E096GA20 , 3F022AA08 , 3F022BB06 , 3F022BB08 , 3F022CC02 , 3F022EE05 , 3F022MM04 , 3F022MM08 , 3F022QQ00 , 5D112KK09 , 5D112KK10 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031CA07 , 5F031DA09 , 5F031EA12 , 5F031EA14 , 5F031EA19 , 5F031EA20 , 5F031FA01 , 5F031FA02 , 5F031FA03 , 5F031FA04 , 5F031NA14 , 5F031NA15 , 5F031NA18 , 5F031PA24 , 5F031PA26

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