特許
J-GLOBAL ID:200903011873877143

加速度計アセンブリ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 湯浅 恭三 (外6名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-287359
公開番号(公開出願番号):特開平5-223839
出願日: 1992年10月26日
公開日(公表日): 1993年09月03日
要約:
【要約】【目的】 マイクロマシニング技法を用いて製作したマイクロ加速度計を収納するパッケージを改良した、マイクロ加速度計アセンブリを提供する。【構成】 マイクロ加速度計アセンブリは、キャビティを有するマイクロ加速度計パッケージ10を備えており、このキャビティ内にマイクロ加速度計ユニット16と、信号処理回路を形成した基板24とを収容する。キャビティの底面46には凹部34を形成し、マイクロ加速度計ユニットをこの凹部の中に止着する。基板は、キャビティの底面に止着する。基板には、その一端に複数のワイヤ・ボンド・サイトを形成し、この端部を、凹部の中のマイクロ加速度計ユニットの上方へ突出させ、その際に、この端部がマイクロ加速度計ユニット上のワイヤ・ボンド・サイト26の手前まで突出するようにする。基板上のワイヤ・ボンド・サイトと、加速度計ユニットのワイヤ・ボンド・サイトとを、接続用リード30で接続する。
請求項(抜粋):
加速度計アセンブリにおいて、キャビティを有するハウジング(10)を備えており、該キャビティは、平面(46)に沿って延展している底面(46)と、該平面より更に下位に位置している凹部(34)とを含んでおり、前記凹部の中に配設されている、出力信号を発生する加速度計用検出デバイス(16)を備えており、該加速度計用検出デバイス(16)は、複数の検出デバイス側ワイヤ・ボンド・サイト(26)を含んでおり、それら複数の検出デバイス側ワイヤ・ボンド・サイト(26)は、前記平面の近傍に位置しており、前記キャビティの前記底面上に配設されていて前記加速度計用検出デバイスの一部分の上方に延在している、この加速度計アセンブリから出力信号を出力するための出力回路(24)を備えており、該出力回路(24)は、複数の出力回路側ワイヤ・ボンド・サイトを含んでおり、それら複数の出力回路側ワイヤ・ボンド・サイトは、前記平面の近傍に位置していると共に、前記加速度計用検出デバイスの前記複数の検出デバイス側ワイヤ・ボンド・サイト(26)に近接して位置しており、前記検出デバイス側ワイヤ・ボンド・サイト(26)と前記出力回路(24)とを接続する複数の導電体(30)を備えている、ことを特徴とする加速度計アセンブリ。

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