特許
J-GLOBAL ID：200903011879086407
エアーフィルタのリーク検査方法およびそのエアーフィルタの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-271359
公開番号（公開出願番号）：特開平8-136437
出願日： 1994年11月04日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：
【要約】【目的】 リーク検査用粒子としてシリカ粒子を用いることにより、2次汚染を生じることがなく、またリーク検査の信頼性を高めることができる高性能エアーフィルタのリーク検査方法を提供すること。【構成】 コロイド状シリカの懸濁液をスプレーした後に乾燥させ、生成したシリカ粒子を超高性能エアーフィルタ20の上流側の気流中に投入すること、および超高性能エアーフィルタ20の下流側にリークしてくる該シリカ粒子を、粒子検出器Bを用いて検出すること、を包含する高性能エアーフィルタのリーク検査方法。
請求項（抜粋）：
コロイド状シリカの懸濁液をスプレーした後に乾燥させ、生成したシリカ粒子をエアーフィルタの上流側の気流中に投入すること、およびエアーフィルタの下流側にリークしてくる該シリカ粒子を、粒子検出器を用いて検出すること、を包含するエアーフィルタのリーク検査方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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