特許

J-GLOBAL ID：200903011880796078

膜厚測定方法

発明者： 堀江 正浩 ,  藤原 成章 ,  小久保 正彦
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-257853
公開番号（公開出願番号）：特開平7-091921
出願日： 1993年09月20日
公開日（公表日）： 1995年04月07日
要約：

【要約】【目的】 基板上に少なくとも1つ以上の透光膜が積層形成された被測定試料の前記透光膜の膜厚を、透光膜の数に関係なく、計算ステップを増大させることなく、しかも余分な入力操作を行うことなく、求めることのできる膜厚測定方法を提供する。【構成】 試料に所定の観測波長域の光を照射し、分光反射比率を実測して、干渉波形を求める。その干渉波形からピーク・ヴァレイの総数を求め、ピーク・ヴァレイ数,前記観測波長域内の2つの波長に基づき、各透光膜のとりうる膜厚範囲を特定する。そして、その膜厚範囲内で、各透光膜の膜厚設定値を一定の膜厚ピッチで変化させながら、膜厚設定値での理論分光反射比率と実測分光反射比率との偏差量を演算し、その偏差量が最小となる膜厚の組み合わせを各透光膜の膜厚として求める。

請求項（抜粋）：

基板上に少なくとも1つ以上の透光膜が積層形成された被測定試料の前記透光膜の膜厚を求める膜厚測定方法であって、(a) 前記基板上に形成された透光膜の数および各透光層の光学定数を入力する工程と、(b) 前記被測定試料に所定の観測波長域の光を照射し、分光反射率を実測して、干渉波形を求める工程と、(c) 前記干渉波形からピーク・ヴァレイの総数を求め、ピーク・ヴァレイ数,前記観測波長域内の短波長側の第1の波長および長波長側の第2の波長に基づき、各透光膜のとりうる膜厚範囲を特定する工程と、(d) 前記膜厚範囲内で、各透光膜の膜厚設定値を一定の膜厚ピッチで変化させながら、各透光膜の膜厚が前記膜厚設定値であると仮定したときの理論分光反射率と前記実測分光反射率との偏差量を演算し、その偏差量が最小となる膜厚の組み合わせを求める工程と、を備えたことを特徴とする膜厚測定方法。