特許

J-GLOBAL ID：200903011890893616

フツ素及びアンモニア化合物を含むエツチング廃液の処理・回収方法

発明者： 田原 弘
出願人/特許権者： ト-メンコンストラクシヨン株式会社
代理人 (1件)： 宮越 典明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-208932
公開番号（公開出願番号）：特開平5-033169
出願日： 1991年07月26日
公開日（公表日）： 1993年02月09日
要約：

【要約】【目的】 フッ素及びアンモニア化合物を含むエッチング廃液の処理・回収方法を提供すること。【構成】 (1)上記廃液にKOH、NaOHを添加し、溶存金属イオンを金属水酸化物として除去し、(2)スチ-ム加熱により、NH3成分をアンモニアガス、液体アンモニア又はアンモニア水として回収し、(3)二極膜により、F成分をフッ酸水溶液として、また、アルカリ成分をKOH、NaOHとしてそれぞれ回収すること。【効果】 回収した各成分を原料源として再利用(循環使用)することができ、エッチング液調製及びエッチング廃液処理のいずれもクローズド・システムが可能となる顕著な効果が生じ、その結果、資源のリサイクル化、投棄物の減少、環境問題の解決に好影響を与える手段を提供することができる。

請求項（抜粋）：

フッ素及びアンモニア化合物を含むエッチング廃液に水酸化カリウム及び/又は水酸化ナトリウムを添加し、廃液中に溶解している金属イオンを水酸化物とし、濾過後、該濾液をスチ-ム加熱し、生成するアンモニアをアンモニアガス、アンモニア水溶液又は液体アンモニアとして回収することを特徴とするフッ素及びアンモニア化合物を含むエッチング廃液の処理・回収方法。

IPC (6件)：

C23F 1/46 ,  B01D 61/44 500 ,  C01C 1/10 ,  H01L 21/308 ,  C01B 7/19 ,  C01D 1/28