特許

J-GLOBAL ID：200903011897630947

カラーフィルタの検査装置及びその方法

発明者： 鶴岡 真介
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-349533
公開番号（公開出願番号）：特開平10-185763
出願日： 1996年12月27日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：

【要約】【課題】 カラーフィルタの隣接する2画面間にわたるムラ、たとえば線状の長いムラ等が存在した場合には、2画面間の差をとることでお互いの線状ムラが相殺され欠陥の検出ができない。【解決手段】 ガラス基板11上に形成されたカラーフィルタ12は、透過照明10あるいは反射照明7によって照射され、センサ4により画像データとして読み込まれ、画像処理部3により欠陥部の抽出が行われた後、ホストコンピュータ1により良否の判定が行われる。

請求項（抜粋）：

カラーフィルタが形成された基板のムラを検査する装置であって、前記カラーフィルタを撮像する撮像手段と、前記カラーフィルタを照射する照明手段と、前記撮像手段より得られた画像データを格納し処理を行なう画像処理部と、前記カラーフィルタを撮像手段の撮像位置まで移動する移動手段と、前記画像処理部に格納されたカラーフィルタの画像に対して得られる射影データと、撮像位置毎にあらかじめ保存されている濃度が均一な部分の射影データとに基づき、前記撮像系および照明系のムラを除去し、カラーフィルタのムラを検出する手段とを有することを特徴とするカラーフィルタ検査装置。

IPC (2件)：

G01M 11/00 ,  G02B 5/20 101

FI (2件)：

G01M 11/00 T ,  G02B 5/20 101