特許
J-GLOBAL ID：200903011906598369
仕切り
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-337112
公開番号（公開出願番号）：特開平9-177443
出願日： 1995年12月25日
公開日（公表日）： 1997年07月08日
要約：
【要約】【課題】半導体装置等の製造を行う作業室と製造装置を設置する機械室を仕切る仕切りに関し、決まった広さの処理室に必要な処理装置を出来るだけ多く設置し、或いは処理室の省スペースを図る。【解決手段】作業室と機械室とを仕切る仕切り11であって、仕切り11に形成された開口11aに装置15がはめ込まれ、装置15は、装置15の作業室側に、それぞれ開口11aよりも大きな密閉部16aを有し、装置15が機械室側に押し込まれたときには、作業室側の密閉部16aで開口11aを密閉し、装置15が作業室側に押し込まれたときには、機械室側の密閉部16aで開口11aを密閉する。
請求項（抜粋）：
作業室と機械室とを仕切る仕切りであって、該仕切りに形成された開口に装置がはめ込まれ、前記装置は、前記装置の作業室側に、それぞれ前記開口よりも大きな密閉部を有し、前記装置が前記機械室側に押し込まれたときには、前記作業室側の密閉部で前記開口を密閉し、前記装置が前記作業室側に押し込まれたときには、前記機械室側の密閉部で前記開口を密閉することを特徴とする仕切り。
IPC (2件)：
FI (2件)：
E06B 5/00 Z
, H01L 21/02 D
