特許
J-GLOBAL ID：200903011906997026
着色フォトレジストの現像方法及び現像装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池内 寛幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-302119
公開番号（公開出願番号）：特開平8-160456
出願日： 1994年12月06日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：
【要約】【目的】 液晶表示素子等に用いるパターン精度が良い着色フォトレジストの現像方法及びその現像装置を得る。【構成】 薄膜トランジスタと画素電極をマトリクス状に配置したガラス基板1上に、黒色の有機顔料を分散したネガ型感光性樹脂として着色フォトレジスト2を塗布し、フォトマスク3を介して紫外光4で露光する。これを現像液5中に浸漬し、外部から超音波発生装置装置6と超音波振動子7により微小振動を与えながら現像を行なう。超純水でリンスして乾燥させて着色フォトレジストパターン8を得る。
請求項（抜粋）：
感光性樹脂と、顔料またはカーボンを含む着色フォトレジストを基板上に塗布し、選択的に感光させて前記着色フォトレジストを現像する方法において、基板、現像液及びリンス液から選ばれる少なくとも一つに物理的振動を加えながら現像することを特徴とする着色フォトレジストの現像方法。
IPC (4件)：
G02F 1/136 500
, G02B 5/20 101
, G02F 1/1335 500
, G03F 7/30
