特許
J-GLOBAL ID：200903011909957882
薄板検査装置及び検査方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
押田 良久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-258871
公開番号（公開出願番号）：特開平8-094336
出願日： 1994年09月28日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：
【要約】【目的】 複数個のパターンが間隔をおいて繰り返されるような形状の薄板製品の表面検査と寸法検査を同時に連続的に高速で行い得るような薄板検査装置および装置を提供する。【構成】 複数個のパターンが一定の間隔を隔てて繰り返し付与される形状の被検査薄板を水平方向に一定速度で連続的に搬送する手段、該薄板の上方から該薄板に適度の入射角を以て照射する反射用光源、該薄板の下方から該薄板を透過するように照射する透過用光源、該薄板の上方に設けられ、これらの光源からの照射により得られた反射光および透過光による該薄板の像を1パターン又は複数パターンごとに撮像する手段、撮像した画像の濃淡を検出して数値化処理する手段、数値化された検出結果を1パターン又は複数パターンごとに交互に入力して記憶させるための手段、該記憶された数値を交互に取り出して予め定められた基準値と比較し解析する手段とよりなる薄板検査装置およびこれによる薄板検査方法。
請求項（抜粋）：
複数個のパターンが一定の間隔を隔てて繰り返し付与される形状の被検査薄板を水平方向に一定速度で連続的に搬送する手段、該薄板の上方から該薄板に適度の入射角を以て照射する反射用光源、該薄板の下方から該薄板を透過するように照射する透過用光源、該薄板の上方に設けられ、これらの光源からの照射により得られた反射光および透過光による該薄板の像を少なくとも1パターンごとに撮像する手段、撮像した画像の濃淡を検出して数値化処理する手段、数値化された検出結果を少なくとも1パターンごとに交互に入力して記憶させるための手段、該記憶された数値を交互に取り出して予め定められた基準値と比較し、被検査薄板の表面欠陥、寸法精度等を解析する手段とよりなる薄板検査装置。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G01B 11/02
, G01B 11/30
