特許

J-GLOBAL ID：200903011919437208

ワイヤソーによる切断法

発明者： 左光 大和 ,  安永 暢男
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 大関 和夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-237414
公開番号（公開出願番号）：特開平6-087118
出願日： 1992年09月04日
公開日（公表日）： 1994年03月29日
要約：

【要約】【目的】 Siインゴット等の脆性材料のワイヤソーによる切断において、ワイヤの単位長さ当りの水平抵抗力が所定の値より大きくなって、切断面に擦り疵が付くのを回避し得る切断方法を提供する。【構成】 ワイヤの水平抵抗力の大きさを切断長さの単位長当り3〜15gf/mmとなるようにコントロールしながら切断する。

請求項（抜粋）：

SiまたはGaAs等の高脆性材料のインゴットをワイヤソーで切断する方法において、単位長さ当たり水平抵抗力を3〜15gf/mmとすることを特徴とするSiまたはGaAs等の高脆性材料のワイヤソーによる切断法。