特許
J-GLOBAL ID：200903011925666960
流量計測装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大橋 弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-232245
公開番号（公開出願番号）：特開平6-082282
出願日： 1992年08月31日
公開日（公表日）： 1994年03月22日
要約：
【要約】【目的】 圧力損失を可及的に抑えて小流量域から大流量域まで高精度で流量を計測したい。【構成】 流路1の断面積を変化させる弁3を設け、この弁3の上流側と下流側の差圧を求め、これを基準圧力との間で一定になるようにコントローラー6により制御し、このコントローラー6から出力される制御信号を基に流量を流量演算回路11により演算する。
請求項（抜粋）：
気体が流れる流路と、この流路の断面積を自在に変えられる弁と、前記流路内の弁の上下流間で発生する差圧を検出する差圧検出手段と、その差圧を一定にするように前記弁を制御するコントローラーと、このコントローラーから出力される信号を基に流量を演算する流量演算回路から構成される流量計測装置。
IPC (2件)：
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