特許

J-GLOBAL ID：200903011930229790

キャリア自動洗浄装置における洗浄方法

発明者： 浜谷 澄雄
出願人/特許権者： 浜谷 澄雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-142009
公開番号（公開出願番号）：特開2000-164553
出願日： 1998年04月03日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：

【要約】キャリアにこびりついているパーティクル及びゴミを除去するに関して、液中でキャリアを固定してゴミの出ないスポンジ風樹脂でキャリアのV溝の内外面、接触上下運動をする。そして、仕上げ洗浄として超音波洗浄をします。 超音波洗浄終了後、キャリアを仕上げてホットクリーンN2ガスによる乾燥とした。 液中でキャリアを浸漬してブラッシング、そして、仕上げ洗浄としてN2バブリングよりも、より高い洗浄効果を得ることができた。

請求項（抜粋）：

キャリア自動洗浄装置において第1槽部はキャリア別名カセットを液中で固定してキャリアの内外面をブラッシングする.第2槽部は仕上げ洗浄としてキャリアを液中において超音波洗浄をする.終了後キャリアを引上げてホットクリーンN2ガスによる乾燥とする.

IPC (3件)：

H01L 21/304 648 ,  B08B 9/36 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

H01L 21/304 648 E ,  B08B 9/36 ,  H01L 21/68 T

Fターム (12件)：

3B116AA26 ,  3B116AB23 ,  3B116BA02 ,  3B116BA12 ,  3B116BA15 ,  3B116BA16 ,  3B116BB02 ,  3B116BB83 ,  3B116CC03 ,  5F031BB01 ,  5F031KK02 ,  5F031LL03