特許

J-GLOBAL ID：200903011934528031

プラズマ発生装置

発明者： 坂本 雄一 ,  多田 重和
出願人/特許権者： ニチメン電子工研株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-304946
公開番号（公開出願番号）：特開平10-144497
出願日： 1996年11月15日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：

【要約】【課題】簡単な構成でありながら、均一な分布の大径のプラズマを発生させることの可能なプラズマ発生装置を提供する。【解決手段】ハウジング1内のプラズマ発生領域には、多数の永久磁石8a,8bによりミラー磁界が形成され、この領域に導波管4並びに誘電体円板3を介してマイクロ波を供給することによりECRプラズマが発生される。この誘電体円板は、中心部より外周に向かうのに従って除々に薄くなるようにテーパが形成されていることにより、外周に向かうのに従って表面波電界は強くなり、そのために密度が中央では低く、外周で高いプラズマが発生される。

請求項（抜粋）：

ハウジングと、このハウジングのプラズマ発生室にミラー磁界を形成するように配設された複数の永久磁石と、このプラズマ発生室に電子サイクロトロン共鳴プラズマを発生させるように、プラズマ発生室にマイクロ波を供給する手段とを具備し、この供給手段は一端がプラズマ発生室に延びた中心導体を有する導波管と、プラズマ発生室内に、前記中心導体の前記一端と中心部で同軸的に接続された誘電体板と、前記中心導体の前記一端に、誘電体板の中心部のプラズマ発生室に露出した面に取着された金属製キャップとを有し、この誘電体板は、外方に向かうのに従って薄くなるように表面にテーパが形成されていることを特徴とするプラズマ発生装置。