特許
J-GLOBAL ID：200903011935544472
粒子検出器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
頓宮 孝一 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-008908
公開番号（公開出願番号）：特開平6-082358
出願日： 1993年01月22日
公開日（公表日）： 1994年03月22日
要約：
【要約】【目的】 半導体の製造に用いられるプラズマ処理ツールの反応室における粒子汚染を検出するポータブルな粒子検出器アセンブリを提供する。【構成】 検出器は走査レーザ・ビームを与えるスキャナ・アセンブリ11と、スキャナ・アセンブリの反対側に置かれ、反応室のボリューム内の粒子によって散乱した光のビデオ信号を発生するビデオ・カメラ12と、ビデオ信号を処理し表示するモニタ16とを含む。
請求項（抜粋）：
レーザ光を生成するレーザ手段と、検出されるべき粒子を含む領域を上記レーザ光で走査するスキャナ手段と、上記領域内の粒子によって散乱したレーザ光のビデオ信号を生成するビデオ・カメラ手段と、上記ビデオ信号のイメージを処理し表示する手段と、を含む粒子検出器。
IPC (3件)：
G01N 15/00
, G01N 21/47
, H01L 21/302
