特許
J-GLOBAL ID：200903011935766920
対象物の3次元検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
矢野 敏雄 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-118311
公開番号（公開出願番号）：特開2000-356513
出願日： 2000年04月19日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：
【要約】【課題】 カラー仕様向けに利用可能なマトリクス受光器の使用下で共焦点画像を撮像できる手段を提供すること。【解決手段】 対象物の3次元検査装置において、照射、照明側及び観測、検出側で、各1つの孔付板(120,121)が焦点面内に取り付けられ、孔付板(120,121)の後方に、観測、検出側にマトリクスセンサ(17)が撮像のため焦点面後方に配されている。
請求項（抜粋）：
対象物の3次元検査装置であって、照射平面内に取り付けられた照明、照射スクリーンラスタ(120)を有し、1つ又は複数の光学的素子エレメント(13a,13u)を有し、該光学的素子エレメント(13o,13u)は、照明、照射スクリーンラスタを、被測定対象物(14)の個所における焦点面内に結像し、そこから放射された光を観測平面内に結像するするものであり、光電性ないし受光領域を有する受光器アレイ(17)を有し、該受光器アレイ(17)は、光学的素子エレメント(13o,13u)から伝えられた光を捕捉検出するものであり、該光は、対象物にて、又は対象物内で、反射された光、又は蛍光体により発せられた光であるように構成されている当該の検査装置において、照射、照明側及び観測、検出側で、各1つの孔付板(120,121)が焦点面内に取り付けられ、孔付板(120,121)の後方に、観測、検出側にマトリクスセンサ(17)が撮像のため焦点面後方に配されていることを特徴とする対象物の3次元検査装置。
IPC (8件)：
G01B 11/24
, G01J 3/51
, G01N 21/17
, G01N 21/27
, G01N 21/64
, G02B 21/00
, G02B 21/06
, G02B 21/36
G01B 11/24 K
, G01J 3/51
, G01N 21/17 A
, G01N 21/27 A
, G01N 21/64 F
, G02B 21/00
, G02B 21/06
, G02B 21/36
