固体撮像素子の欠陥検出装置及び固体撮像素子の欠陥検出方法並びに固体撮像素子の欠陥検出方法のプログラムを格納した記憶媒体

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-181172
公開番号（公開出願番号）：特開2001-016506
出願日： 1999年06月28日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：

【要約】【課題】固体撮像素子の欠陥検出処理に際し、出力レベルの高い線状欠陥の影響を受けることなく、正確に所望の欠陥を検出することができる固体撮像素子の欠陥検出装置及び固体撮像素子の欠陥検出方法並びに固体撮像素子の欠陥検出方法のプログラムを格納した記憶媒体を提供する。【解決手段】一水平線分データとして生成される原データに対して、2ビット分前後にずれた位置の代表値を抽出する前後2ビット抽出部33aと、4ビット分前後にずれた位置の代表値を抽出する前後4ビット抽出部33bと、原データと抽出された各周辺データ(代表値)とを個別に差分処理する差分処理部34a、34bと、各差分処理データを加算(合成)し、さらに、平均化(1/2倍)する差分データ平均化処理部35と、差分平均化データを欠陥検出判定の比較対象とする欠陥判別部36と、を有して構成される。

請求項（抜粋）：

マトリクス状に配列された複数のフォトセンサと、該フォトセンサの列毎に出力信号を垂直方向に転送する垂直転送レジスタと、該垂直転送レジスタからの出力を水平方向に転送する水平転送レジスタと、該水平転送レジスタからの出力信号を画像信号に変換する出力部と、を有する固体撮像素子の欠陥検出装置において、出力部を介して出力され、前記複数のフォトセンサのマトリクス配列により構成される1画面分の画素データを格納する記憶部と、前記画素データを、前記画面の垂直方向に所定の画素数単位の区画に区切り、該区画毎の中央に位置する前記画素データを抽出する中央値抽出処理部と、前記区画毎に抽出された前記画素データを、前記画面の垂直方向毎に加算平均化処理して代表値を算出し、該代表値を水平方向に配列して構成される一水平線分データを生成する水平線分データ生成部と、前記一水平線分データに含まれる欠陥検出対象データと、前記欠陥検出対象データから水平方向に前後各n(nは、正の整数)画素分ずれた位置の前記代表値とを差分処理して第1の差分データを算出する第1の差分処理部と、前記欠陥検出対象データと、前記欠陥検出対象データから水平方向に前後各n×m(mは、2以上の整数)画素分ずれた位置の前記代表値とを差分処理して第2の差分データを算出する第2の差分処理部と、前記第1の差分データ及び第2の差分データを加算平均化処理して、差分平均化データを算出する平均化データ生成部と、前記差分平均化データと、あらかじめ設定された欠陥検出基準値とを比較し、該比較結果に基づいて、欠陥の有無を判別する欠陥判別部と、を備えたことを特徴とする固体撮像素子の欠陥検出装置。

IPC (4件)：

H04N 5/335 , G06T 7/00 , H01L 27/14 , H04N 9/07

FI (5件)：

H04N 5/335 P , H04N 9/07 A , H04N 9/07 C , G06F 15/62 405 A , H01L 27/14 Z

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