特許
J-GLOBAL ID：200903011949407303
入出力端子および半導体素子収納用パッケージならびに半導体装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-084279
公開番号（公開出願番号）：特開2004-296577
出願日： 2003年03月26日
公開日（公表日）： 2004年10月21日
要約：
【課題】入出力端子の平板部となるセラミックグリーンシートの積層間に剥がれが生じるのを抑制することにより、入出力端子の気密性および導通信頼性を向上させ、半導体素子の作動性を向上させること。【解決手段】入出力端子3は、上面に配線導体3Aを有するとともに下面に接地導体層3bを有する平板部8と、平板部8の上面に立壁部7とを具備しており、平板部8は、その内部の配線導体3Aの直下の部位に一辺側の側面および他辺側の側面の間にわたって帯状の内層導体層3cが形成されているとともに、この一辺側の側面および他辺側の側面の少なくとも一方に、内層導体層3cから平板部8の上下面の少なくとも一方にかけて内層導体層3cの中央部よりも幅が狭い、内面に導体層6aが形成された溝6が設けられており、内層導体層3cは、溝6に接する端部が溝6に向かって漸次幅が狭くなっているとともに先端の幅が溝6と同じである。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
上面に一辺側から対向する他辺側にかけて形成された配線導体を有するとともに下面に接地導体層を有する誘電体からなる四角形状の平板部と、該平板部の上面に前記配線導体の一部を間に挟んで接合された誘電体から成る立壁部とを具備しており、前記平板部は、その内部の前記配線導体の直下の部位に前記一辺側の側面および前記他辺側の側面の間にわたって帯状の内層導体層が形成されているとともに、前記一辺側の側面および前記他辺側の側面の少なくとも一方に、前記内層導体層から前記平板部の上下面の少なくとも一方にかけて前記内層導体層の中央部よりも幅が狭い、内面に導体層が形成された溝が設けられており、前記内層導体層は、前記溝に接する端部が前記溝に向かって漸次幅が狭くなっているとともに先端の幅が前記溝と同じであることを特徴とする入出力端子。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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